透射電鏡的發展趨勢

a ．提高分辨本領、改進儀器性能降低物鏡的球差、提高物鏡電流和高壓的穩定度以減小色差。提高加速電壓，減小電子波長等均是提高分辨本領的有效途徑。由于這些措施可能在超高壓電鏡中實施，因此曾對超高壓電鏡寄以厚望。因為技術上的難度大，尤其是建造費用昂貴，使其進展艱難。而且實際分辨本領仍在0.2～0.3nm 。折衷的辦法是發展200～300kV的高壓電鏡。
　　b ．提高自動化程度，簡化操作真空操作、樣品更換及驅動、照相記錄、電鏡工作模式變換等復雜的工作均只需要一個啟動命令就能自動完成，尤其是引入電子計算機之后，使操作進一步自動化，而且還可以對圖像或譜線進行處理。
　　c ．向分析式電鏡發展電子顯微鏡把人們引入了千變萬化的微觀世界，使我們能在原子量級上來研究物質的微觀結構。透射模式使我們得到了物體的形貌、電子衍射模式可以分析物體的表面結構。在觀察高倍像時，我們往往想知道所觀察物體內的元素組成和微觀結構，因此在透射電鏡中引入了X 射線光譜儀和掃描透射模式等使透射電鏡成了分析式電鏡。
　　電子能量損失譜儀（electron energy loss spectrometer , EELS）是基于入射電子打到樣品上，使原子內殼層的電子被激發產生電離。這時入射電子損失一部分能量△E 后并以非彈性散射電子的形式射出。由于△E 至少大于內層電子的電離能及，而每一種元素都有其特征的瓜值，因而對非彈性散射電子進行能量分析就可以獲得試樣的元素組成信息。
　　掃描透射電鏡（STEM）的成像原理與掃描電鏡相似，不過收集的不是二次電子而是分別收集透過樣品的彈性和非彈性散射電子來成像。由于掃描透射模式的圖像是逐點、按時間順序排列的像素組成，所以用計算機作實時圖像處理很方便。掃描透射的另一優點是利用微小束斑可以作超微區的顯微分析。
　　d ．場發射槍透射電鏡場發射電子槍具有亮度高（比鎢絲槍高三個量級）、交叉斑小（直徑為0 . 01～0 . 02nm）、電子能量分散小及相干性好等優點，正日益受到重視。對透射電鏡開展微區衍射和微區分析十分有利，它的高相干性為電子顯微學開展全息術提供了廣闊的前景。
　　下表列出了目前世界各國生產的幾種透射電鏡的性能比較。